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非接触二维台阶/厚度(粗糙度)测量仪

非接触二维台阶/厚度(粗糙度)测量仪

非接触二维台阶/厚度(粗糙度)测量仪

  • 分类:新闻资讯
  • 发布时间:2023-05-24 13:37
  • 访问量:

【概要描述】

非接触二维台阶/厚度(粗糙度)测量仪

【概要描述】

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  • 发布时间:2023-05-24 13:37
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THINKFOCUS一直致力于高精度光谱共焦测量技术的研发,搭载高精度压电扫描机构的CLS-3000二维轮廓仪将光谱共焦的精度发挥到了极致,实现了重复精度10nm,绝对精度20nm的超高精度测量。


 

突出特点

◆ 更低成本——是传统接触式轮廓仪1/2到1/3价格 

◆ 更小体积——是传统接触式轮廓仪1/4体积,方便系统集成

◆ 更小测量光斑——测量光斑2um 

◆ 更高精度——10nm重复性、20nm测量精度 

◆ 非接触式测量——不会划伤样品表面,没有探针损耗

 

主要应用于:油墨厚度测量,MLCC厚度测量,厚膜电路测量,银浆厚度测量,激光刻蚀测量,涂胶厚度测量,半导体、特种材料表面粗糙度测量等。

 

非接触二维台阶/厚度(粗糙度)测量仪

 

设备主要功能

设备采用压电扫描方式、非接触测量段差,厚度,粗糙度等。

扫描方式:

1、压电扫描台带动测头扫描,样品固定。

2、测头固定,压电扫描台带动样品移动扫描。

规格参数:

传感器测量速度 2-20mm/s(可调)
测量点间距 ≥5μm自由设置
传感器器Z轴量程 ±55um
传感器分辨率 0.001um
测量光斑 φ2um
测量精度 20nm(测量标准台阶)
电动扫描台行程

高精度有效行程20mm(机械行程30mm)

机台台面尺寸 根据实际需要定制
扫描重复精度 0.01μm
压电扫描台分辨率 0.05um

非接触二维台阶/厚度(粗糙度)测量仪

 

配置方案 

 

非接触二维台阶/厚度(粗糙度)测量仪

 

机台选择

可以选择龙门式的机台,也可以立臂式,或者只选购压电模组,自行集成使用。

单独压电模组

龙门式机台

立臂式机台

非接触二维台阶/厚度(粗糙度)测量仪


 

测量软件功能介绍(支持中英文双语) 

压电扫描台控制、采集测量软件

● 设置扫描起始位置及其他参数,点开始测量即可获取轮廓。

● 数据处理;若获取的轮廓有明显倾斜的时候,可以进行校平处理。可对获取的轮廓进行简单是数据处理,以获得更加有效的轮廓曲线。可设置上/下限,自动判断是否合格。

 

非接触二维台阶/厚度(粗糙度)测量仪

 

测量软件功能介绍

压电扫描台控制、采集测量软件

● 可以扫描测量段差,粗糙度,曲率半径等等。

● 对于每次扫描的测量值可以手动记入表中或自动记录在表中,并且可以导出表格。 

● 每次扫描轮廓原始数据可以自动保存,生成.csv表格。

 
 

上图为记录测量结果导出的表格。

非接触二维台阶/厚度(粗糙度)测量仪

 

精度测量验证方式 

★ 阶规——1/5/10/30/50um标准台阶 

★ 平晶——平面度0.03um平面平晶 

★ 三丰粗糙度量块 

 

 

阶规

 

平晶

 

粗糙度量块

阶规——1/5/10/30/50um标准台阶

 

阶规——校准报告

 

平晶——平面度0.03um平面平晶

OP1传感器测量平晶-验证结果

以下数据为扫描同一位置5次,扫描行程10mm。

◆ CLS-3000 OP1测量值:0.002um

 

◆ CLS-3000 OP1测量值:0.008um

 

◆ CLS-3000 OP1测量值:0.004um

 

◆ CLS-3000 OP1测量值:0.002um

 

◆ CLS-3000 OP1测量值:0.008um

 

三丰粗糙度量块

OP1传感器测量粗糙度量块-验证结果

 

三丰的粗糙度量块:RA 0.41um

测量结果:0.427um

 

三丰的粗糙度量块:RA 2.93um

测量结果:2.897um

 

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